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真空互聯裝置
編號:SN20170622103145580
類別:國家大科學工程設備
  • 產品概述
  • 規格參數
  • 服務支持

    設備用途
        用于真空制備設備、真空檢測設備、真空分析設備等工作室之間的樣品在高真空或超高真空環境中的傳遞。可廣泛應用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備、分析檢測。
      

    設備組成
        主要由進樣室、過渡室、傳輸室、小車轉向室、樣品加熱除氣、樣品等離子清洗、傳輸小車、磁力傳遞機構、抽氣系統、真空測量、電控系統、計算機控制系統及安裝機臺等部分組成。

     

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